Inom halvledar- eller vätskekristalldisplaytillverkning har enhetsintegrationen ökat under de senaste åren. Vid tillverkning av en enhet som kallas en mycket storskalig integrerad krets krävs ett fint mönster på 1 mikron eller mindre. I en sådan tillverkningsprocess deponeras eller adsorberas fint damm eller en mycket liten mängd gasförstöring på ledningsmönstret, vilket resulterar i kretsfel. Därför är det nödvändigt att både reaktionsgas och bärgas med hög renhet, det vill säga endast ett fåtal partiklar och gasföroreningar, kan existera i dessa gaser. Av denna anledning är det nödvändigt för ett kapillärrör av rostfritt stål eller en medlem att använda en sådan gas med hög renhet, och dess inre yta används som en förorening för att avge föroreningar, med endast en minsta mängd partiklar och gas. Förutom inerta gaser som kväve och argon används många gaser som kallas specialgaser också som gaser för tillverkning av halvledare. Exempel på specialgaser är frätande gaser som klor, väteklorid och vätebromid samt kemiskt instabila gaser som ensilage. Den förstnämnda kräver gaskorrosionsbeständighet, medan den senare kräver icke-katalytisk prestanda.
För att minska nedfallet eller adsorptionen av damm eller vatten har den inre ytan på den del som används för att tillverka halvledargas jämnats ut tills dess Rmax-ytjämnhet är 1 mikron eller mindre. Kallritning, mekanisk polering, kemisk polering, polering eller en kombination av dessa kan användas som metod för att jämna ut rörets inre yta eller delar. Ett mycket smidigt material med ett värde av 1 mikron eller mindre erhålls dock huvudsakligen genom elektrolytisk polering. Rörets inre yta eller liknande jämnas ut, rengörs sedan med hög renhetsvatten och torkas med hög renhetsgas för att erhålla slutprodukten.
Svetsning används vanligtvis vid svetsning. Detta beror på att svetsning kan säkerställa hög hållfasthet och god lufttäthet i rörledningen. Vid läggning av rörledningar används inert gas med hög renhet, vanligtvis argon, som en skyddsgas, och dess inre yta kontaktas med hög renhetsgas genom rörledningen för att undvika uppvärmning av en del av föroreningar och oxidation till höga temperaturer så mycket som möjligt. Dessutom rengörs rörledningen med argon eller kväve med hög renhet i rörledningen för att avlägsna dessa partiklar och fortfarande förbli i röret. När pipelinen är lång och komplicerad, till exempel en pipeline, tar det flera dagar till flera veckor. Nyligen har kostnadsminskning i byggandet av en halvledartillverkningsanläggning och den tidiga driften av anläggningen krävts starkt. För att uppfylla dessa krav är det nu nödvändigt att förkorta rengöringstiden.
Förutom ovanstående egenskaper måste rör- och hög renhetsgasmedlemmarna ha svetskapacitet, det gemensamma område som krävs för mekaniska tätningar och slitstyrka; När delar som leder bearbetas krävs Mach-svaghet. Å andra sidan har det varit känt att speciella gaser med korrosionsbeständighet och icke-katalytiska egenskaper, som krävs för tillverkning av halvledarrör eller liknande gaser, kan förbättras genom uppvärmning av ytan av rostfritt stål på ett sådant sätt Atmosfär, i en sådan atmosfär, kontrolleras det partiella syretrycket. Det är värt att notera att den objektiva substansen i rörledningen rapporteras som SUS 316L rostfritt stål i denna litteratur.
Ovan nämnda korrosionsbeständighet och icke-katalytiska prestanda är inte bara för gasledningar. Samma efterfrågan är också gjord av rostfritt stål som används i olika utrustning för tillverkning av halvledare, varav en har fin waferbearbetning. Austenitiskt rostfritt stål, i synnerhet, SUS 316L typ används främst som material för rör och andra utrustningsmedlemmar. Japanska Kokai Patent Publication Nr. 161145/1988 avslöjar ett icke-standardiserat högrenst austenitiskt rostfritt stål av stålrör som används i rena rum. Icke-metalliska inneslutningar begränsar minskningen av mangan, kisel, aluminium och syrehalt, vilket minskar genereringen av partiklar från rörledningens inre yta.
Dessutom publicerade Japan Patent Publication No. 198463, 1989/, som avslöjar en medlem i rostfritt stål för utrustning för tillverkning av halvledare. Dessa medlemmar oxiderar gas efter elektrokemisk polering av rostfritt stål. Under vissa förhållanden bildas ett oxidskikt med en tjocklek av 100 till 500 angstroms på det och värms upp på ett sådant sätt att antalet Ni-atomer i den yttre delen är Proportion